微悬臂振动干涉测量非正交信号的处理算法

摘要：

设计了干涉条纹形状对悬臂角度变化不敏感的干涉光路系统,针对实际干涉条纹光电转换信号的特点,提出了对难以保证正交化的两路信号进行实时椭圆拟合的方法.应用椭圆拟合及换算参数的结果,推导了干涉条纹相位变化的理论公式.最后,根据相位量与振动位移量的关系,以及振动位移连续性的特点,通过直接解包裹的衔接算法,得到了最终振动位移量.实验表明,该方法在保证足够采样频率的条件下,无需额外硬件计数电路,就能完成微悬臂振动位移的干涉量级精度的测量.

关键词：测量、微悬臂、相位差、椭圆拟合、相位解包裹

所属期刊栏目：27

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175154,51275157,51275158;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金资助项目PIL1209

在线出版日期：2016-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：444-448