基于硅模具的 Zr 基非晶合金微零件吸铸制备

摘要：

基于硅模具提出了一种吸铸成形 Zr 基非晶合金微零件的方法。采用真空氩弧熔化吸铸炉进行了非晶合金微零件吸铸成形实验，用红外热像仪测量了合金熔液温度，发现合金熔液在1116℃下能够完全复制宽3μm、深3μm 的硅方形微槽结构且具有较好的表面形貌。随后分别采用带有多型腔和双层型腔的硅模具进行了吸铸成形实验，成功制备了模数为50μm 的非晶合金微齿轮零件，微零件的硬度及弹性模量分别为6.49 GPa 和94.9 GPa。实验结果表明，基于硅模具吸铸成形 Zr 基非晶合金是一种制备高精度、高表面质量、高性能微零件的有效方法。

关键词：非晶合金、吸铸、硅模具、微零件

分类号：TG249.5;TH142.2(铸造)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175210,51175211

在线出版日期：2015-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2801-2805