MEMS 中变截面梁弯曲数学模型的建立

摘要：

在 MEMS 结构中采用变截面梁来减小应力集中的影响。建立的变截面梁弯曲数学模型可为MEMS 器件加工工艺提供理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角和最大挠度不变为前提条件，分别构建了最大转角尺寸刚度 K φ和最大挠度尺寸刚度 K W 表达式；对比原设计参数的尺寸刚度，创建了梁长度和端面高度与尺寸刚度的关系式，从而为 MEMS 结构中梁的设计提供了理论支撑。

关键词：MEMS、变截面梁、最大转角尺寸刚度、最大挠度尺寸刚度、数学模型

分类号：TH16;TP242

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275052；北京市自然科学基金资助重点项目3131002；北京市教委科研计划资助重点项目KZ201311232036

在线出版日期：2014-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3061-3065