新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光

摘要：

针对软脆碲锌镉晶片的传统加工工艺“游离磨料－抛光－化学机械抛光”存在的缺点，提出“固结磨料研磨－新型绿色环保抛光液化学机械抛光”新方法。固结磨料研磨工艺为：采用3000号刚玉防水砂纸，压力为17 kPa ，抛光盘与抛光垫转速均为80 r／min ，研磨时间为5 min 。新型绿色环保抛光液含有双氧水和硅溶胶，采用天然桔子汁作为 pH 值调节剂。化学机械抛光工艺为：采用自行研制的化学机械抛光液，绒毛抛光垫，抛光压力为28 kPa ，抛光盘与抛光垫转速均为60 r／min ，抛光时间为30 min 。试验结果表明，经过上述加工可获得超光滑的表面，表面粗糙度算术平均值、均方根值、峰谷值分别可以达到0.568 nm 、0.724 nm 、6.061 nm 。

关键词：碲锌镉、固结磨料、绿色环保抛光液、化学机械抛光

分类号：TH117

资助基金：国家自然科学基金资助重大项目91123013；清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金资助项目SKLTKF12A08；燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室开放基金资助项目201302；中央高校基本科研业务费专项资金资助项目DU T13YQ109

在线出版日期：2014-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3008-3011