接触测量中的微探球力变形研究

摘要：

随着微纳米测量系统中测头微探球尺寸的不断减小和测量不确定度要求的不断提高，测力所引起的力变形误差对测量系统不确定度有着不可忽略的影响。根据 Hertz理论，构建了微探球与工件接触时的接触模型、微探球与试样力变形模型，给出了最大允许测力估计方法和力变形计算方法。以现有的3种微纳米三坐标测量机微探球为参考，分别估计了允许最大测力及引起的力变形。结果表明，对于纳米量级测量不确定要求，接触式测量中微探球的受力变形误差是不可忽略的。

关键词：微探球、力变形、微纳米测量、接触测量

分类号：TH711(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175141；国家高技术研究发展计划863计划资助重点项目2008AA042409

在线出版日期：2014-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1926-1928,1929