半导体电火花加工爬坡式电流现象研究

摘要：

对单晶硅电火花加工过程中的电流爬坡式上升现象进行了研究，结果表明，爬坡式电流主要是由加工过程中接触电阻的变化引起的，而接触电阻主要由高温区的接触面积决定。对爬坡式电流曲线的性质进行了研究，分析了温度、热导率和相变能量对接触电阻和放电电流变化的影响。最后，研究了电参数对加工效率的影响，结果表明采用大脉宽、高电压和小占空比能够大大提高加工效率。

关键词：半导体、电火花、爬坡电流、接触电阻

分类号：TG661

资助基金：国家自然科学基金资助项目50975142;江苏省博士后科学基金资助项目1002009C

在线出版日期：2014-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1773-1777,1778