基于MEMS机构装配的微夹持器研究

摘要：

微夹持器作为末端执行装置,直接决定了微装配的效率.MEMS机构中包含许多微小的活动部件和功能元件,为实现这些微小器件的稳定夹取和自动装配,设计了一种采用压电陶瓷驱动、基于柔性铰链的二级放大微夹持器结构.对该微夹持器的节点应力、刚度及最大张合量等进行了分析计算,并对微夹持器进行了试制.实验与分析结果表明,该夹持器最大张合量是245μm,放大倍数约为12.3倍,满足MEMS机构的装配要求.在此基础上,重点对张合量与夹持力进行了系统测试,通过对测试数据的非线性回归,推导出99.99％可靠度的驱动电压计算公式,实现了微夹持的精确控制.

关键词：微机电系统、微装配、微夹持器、压电陶瓷、柔性铰链、非线性回归

所属期刊栏目：25

分类号：TP242.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划资助项目2009AA04Z167;辽宁省自然科学基金资助项目201102182

在线出版日期：2014-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：596-601