光栅式宏/微应变传感器的设计

摘要：

为满足桥梁及深海设备对毫米级测量范围和纳米级测量分辨力的应变测量要求,设计了一种基于光栅莫尔条纹测量原理的宏/微应变传感器.该传感器由上下两个滑块构成,滑块之间不设置导向机构,而是由弹簧片连接,以避免被测件的横向形变对传感器上下滑块导向机构的影响并由此影响到传感器的安装条件.考虑到弹簧片能够对传感器支撑结构产生附加形变,对支撑结构的形变进行了理论计算和有限元仿真.理论分析和实验结果表明,在-2～2mm形变测量范围内,传感器的测量分辨力小于5nm,而由支撑结构产生的最大附加形变小于20nm.

关键词：光栅、宏/微应变、支撑结构、有限元

所属期刊栏目：24

分类号：TP215(自动化技术及设备)

资助基金：安徽省自然科学基金资助项目11040606M113;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目2011HGZL0007

在线出版日期：2013-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1715-1719