基于数字光栅模板的光变图像形成方法

摘要：

研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台.该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构；以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的具有位相信息的任意光斑图形.该方法的分辨率可达1000线/mm,能够制作出高质量的光变图像,如2D/3D图像以及各种精密的微刻图像和文字.

关键词：激光直写、数字光栅、空间光调制器、光变图像

所属期刊栏目：24

分类号：TN26(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61077086;湖北省自然科学基金资助重点项目2011CDA007;武汉市科技局公关项目201110821243

在线出版日期：2013-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：822-825