基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统

摘要：

采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头.在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振动状态,同时,PVDF作为微力传感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力.所构建测头结合三维纳米定位台、控制程序等构成了新型扫描探针显微镜系统.介绍了测头的构成、工作原理、特性以及SPM系统的整体结构、测量原理、三维工作台的定位控制、信号处理过程和整系统特性测试,并以一维标准光栅为试样进行三维图像扫描,证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性.

关键词：PVDF振动梁、钨探针、定位控制、扫描探针显微镜

所属期刊栏目：23

分类号：TH71;TH89(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50975075;高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20100111110011

在线出版日期：2013-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2839-2843