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10.3969/j.issn.1004-132X.2012.22.007

实现压电致动器精密定位的模糊控制系统研究

引用
针对压电精密定位系统的精度与实时性问题,提出一种适于压电精密定位系统的模糊控制方法,实现了压电致动器的迟滞特性和阶跃响应的实验建模.设计了压电致动器的模糊控制器,结合仿真结果,实现了基于32位嵌入式处理器S3C2410的压电精密定位模糊控制系统.测试结果表明:系统阶跃响应稳态误差小于0.1μm,调节时间在3ms以内,超调量小于20%;正弦响应误差范围为-0.24~0.20μm.

模糊控制、响应、精密定位、压电致动器

23

TP273.4(自动化技术及设备)

江苏省自然科学基金资助项目BK2009350;江苏省高校自然科学基金资助项目09KJB460005

2013-02-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

2676-2680

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中国机械工程

1004-132X

42-1294/TH

23

2012,23(22)

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