原位检测系统中触发式测头的误差分析与补偿

摘要：

在分析了原位检测系统中触发式测头误差来源的基础上,提出了自动调整测头偏心的方法,并用标定球对测头的实际作用半径进行了校准。同时,面向实际测量任务,提出了基于在线标定和双线性插值技术的逐点测头半径补偿方法,实验验证,所提出的半径补偿方法比商用软件提供的方法更准确,提高了测量结果的准确性。

关键词：原位检测、触发式测头、在线标定、半径补偿

所属期刊栏目：23

分类号：TH161;TB92

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划资助项目2011CB706804;国家自然科学基金资助重点项目50835004

在线出版日期：2013-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1774-1778