基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究

摘要：

为了解决实际操作中人工寻找干涉条纹费时、不准确和干涉扫描范围难以精确确定等问题,提出了一种自动扫描技术,实现了白光干涉仪的自动对焦和干涉扫描范围的自动确定。该技术采用全新的基于图像灰度方差变化的方法。首先,计算图像灰度方差变化比值;然后,将该比值与预先设定的阈值进行比较,判断干涉条纹初始和结束位置;最后,根据这两个位置自动确定干涉扫描范围。实验证明：当阈值取0.5时,采用粗精双级结构的白光干涉仪能在3min内准确完成1.2μm被测高度的自动扫描过程,约是手动调节速度的两倍。该技术提高了白光干涉仪的自动化水平及使用效率。

关键词：白光干涉、自动扫描、干涉条纹、图像处理

所属期刊栏目：23

分类号：TP271.4;TP271.4(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51075160;长江学者和创新团队发展计划资助项目PCSIRT1063;新世纪优秀人才支持计划资助项目NCET-10-0116;福建省自然科学基金资助项目E1010028;华侨大学“中央高校基本科研业务费”国家杰出青年基金培育计划专项基金资助项目JB-GJ1002

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1482-1486