大幅面光电产品智能检测装置的研究及其最新进展

摘要：

阐述了国内外智能检测装备的研究成果和最新进展。首先，介绍了8种国内检测装置和4种国外智能检测装置的基本结构、特点和应用场合。然后，按栽物台与摄像头的相对运动方式说明了4类检测方式。最后，创新提出并设计了平面三自由度、空间三自由度、空间五自由度、空间六自由度4种新型的并联运动光学检测载物台，分别介绍了其结构组成、工作原理及特点。

关键词：光学检测、检测装备、并联机构、大幅面

所属期刊栏目：22

分类号：TH11;TK51

资助基金：基金项目:国家自然科学基金项目51075045,50875261;江苏省重大科技支撑与自主创新项目BE2010074

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2507-2512