基于多学科优化的大口径光学元件表面洁净度检测系统

摘要：

基于机器视觉的图像处理方法突破了检测区域的尺寸限制,能满足大口径光学元件表面洁净度检测的需要,但存在光、机、电耦合问题.采用多学科设计优化方法处理学科间的耦合关系,建立了学科间耦合关系和学科耦合分析模型,实现了学科协调;分析了光学系统设计、运动系统设计、结构设计、图像拼接、图像处理和洁净度计算等多学科子系统实现的关键点,建立了满足检测要求的检测系统.

关键词：多学科优化、洁净度检测、光学元件、表面洁净度

所属期刊栏目：21

分类号：TH74;TG84(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金资助项目10976034;湖南省教育厅资助科研项目10C1197

在线出版日期：2011-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：2839-2842,2851