基于磁流变阻尼固紧器的工作台定位研究

摘要：

基于磁流变液制作的X向、Y向磁流变阻尼固紧器,采用新颖的横向卧式结构,解决了传统纵向立式阻尼固紧器磁流变液溢出密封和摩擦初始阻尼力较大的问题.该固紧器具有柔性阻尼和无冲击固紧工作台的双重功能,减弱了传统固紧方法带来的冲击和直线电机驱动引起的振动,并成功应用于纳米三坐标测量机,使工作台在X向、Y向的分辨率达到5nm,定位稳态波动从原来的20nm减小到5nm.

关键词：磁流变液、磁流变阻尼固紧器、柔性阻尼、无冲击固紧、纳米三坐标测量机、纳米定位

所属期刊栏目：21

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50775063

在线出版日期：2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1477-1480