微细电解加工的过程检测及精度控制
超短脉冲微细电解加工时,极间加工间隙很小,加工过程的稳定性是影响加工精度的重要因素.在所建立的加工控制系统中,采用两步短路对刀法精确定位电极初始间隙,利用霍尔电流传感器实时检测平均加工电流,动态控制电极的进给运动速度,从而保持不同加工条件下稳定加工的最小加工间隙.进行了微细结构的电解加工试验,通过检测加工过程的状态,保证了加工的稳定性,实现了线宽只有25μm的微细结构加工.
微细电解加工、控制系统、过程检测、极间间隙
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TG662
国家自然科学基金资助项目50975127;高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20093227120006;中国博士后科学基金资助项目20080431072;江苏省博士后科研基金资助项目0801004C;高等学校高级人才启动基金资助项目07JDG069
2010-06-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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