虚拟晶圆制造双臂自动组合装置的实现

摘要：

以eM-Plant系统仿真软件为工具,构建出一个虚拟的双臂自动组合装置.该装置克服了传统解析法的缺点,通过仿真模型来描述与分析半导体加工装置的调度问题,是研究人员研究自动组合装置控制问题的有效手段,也是半导体制造工程师验证生产调度的可行性的仿真平台.

关键词：晶圆制造、自动组合设备、仿真、eM-Plant

所属期刊栏目：20

分类号：TP206(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60574066

在线出版日期：2010-02-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2871-2875