力平衡式微加速度计的非线性误差确定

摘要：

从闭环控制系统出发,基于力平衡式微加速度计的工作原理及工作过程,分析了机电耦合控制与结构参数对加速度计灵敏度与非线性误差的影响,并运用解析法得出以下结论:加速度计的灵敏度与系统的交流偏压及增益无关;非线性误差与系统的交流偏压及闭增益成反比,与输入加速度的三次方成正比.运用深反应离子刻蚀技术与硅微键合技术制造出加速度计敏感芯片,离心机测试的数据表明实际结果与理论结果相符.

关键词：微电子机械系统、微加速度计、力平衡式加速度计、非线性误差、灵敏度

所属期刊栏目：20

分类号：TH12;TH82;TN16

资助基金：国防预研项目51305040201

在线出版日期：2009-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1791-1793