差压式气针传感器的误差研究

摘要：

介绍了一种基于差压式气路的气针传感器的设计方法和工作原理.分析了影响气动测量精度的主要误差因素,如工作压力的波动、电器误差、空气质量和非线性误差等,并通过相应的措施对误差给予补偿,提高了气动测量的精度和灵敏度.该气针传感器的测量范围为55μm,分辨力为0.02μm,静态误差小于0.23μm.研究结果为气动测量应用于高精度高分辨力的非接触尺寸测量提供了理论和试验依据.

关键词：气动测量、差压式气针传感器、误差分析、特性曲线

所属期刊栏目：20

分类号：TH711(仪器、仪表)

资助基金：国防军工计量计划立项项目0100016

在线出版日期：2009-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1537-1541