微型光热驱动机构及其显微运动测量研究

摘要：

提出微型光热驱动机构(PTMA)及其显微运动测量的新方法,设计与微加工制作一种长度为1.5mm的非对称型PTMA,并开展光热驱动的实验研究.利用该测量方法,在波长为650nm、功率为9mW的半导体激光控制下,对PTMA的振幅与频率等显微运动特性进行测量和分析,测得最大振幅为10.3μm,理想响应频率范围为0～7Hz,并绘制出其运动轨迹.研究结果表明,这类新型PTMA可在激光操控下产生不同振幅(位移)、不同频率(速度)的微运动,为机电系统提供了一种新的微驱动方法.

关键词：微型光热驱动机构、显微运动测量、微驱动、MEMS

所属期刊栏目：20

分类号：TP391.4(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA04Z237

在线出版日期：2009-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：937-940