两种非球面面形的光学测量方法研究

摘要：

采用结合四步相移的条纹投影法,实现了物体三维轮廓的测量.把计算机产生的干涉条纹作为投影源,在实验中采集4幅相移条纹图,利用所提出的相位重建算法--基于离散余弦变换的快速相位重建算法,得到了物体的三维尺寸.设计了新的径向剪切式同步相移干涉仪,该干涉仪采用2块雅敏平板,利用偏振光干涉原理实现了4幅条纹图的同步采集,可对不同口径的非球面面形进行测量,并能避开振动的影响,抗干扰能力强,其理论精度可达到波长的1/100.

关键词：非球面测量、条纹投影、剪切干涉、相位重建

所属期刊栏目：20

分类号：TH161

资助基金：国家科技支撑计划2007BAF29B03

在线出版日期：2009-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：271-275