一种光学材料高效超精密加工方法

摘要：

提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差.利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶玻璃、碳化硅等光学材料进行了超精密加工实验,可以在短时间内使光学材料工件表面得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为λ/20(λ为单位波长,λ=632.8nm)的形状精度.

关键词：ELID磨削、磁流变光整加工(MRF)、超精密组合加工、形状精度、表面粗糙度、光学材料

所属期刊栏目：19

分类号：TG58(金属切削加工及机床)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50675064;国家863高技术研究发展计划资助项目2006AA04Z335

在线出版日期：2009-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2540-2544