电解复合超声频振动微细加工机理与试验研究

摘要：

进行了电解复合超声频振动加工微结构的基础试验,分析了微电流电解过程钝化现象,研究了超声频振动冲击波及负压空化作用消除电解钝化作用机理.分析了电解加工方式与超声频振动协调同步方法,设计和构造了微细电解复合压电式超声频振动微细加工系统.利用微细特种加工技术制作各类截面形状、尺寸的微细阴极.进行了多种材料微结构的复合加工试验,并验证了电解复合超声频振动方法实现微细加工可行性与技术优势,研究了应用该工艺进行微结构加工的工艺特性.

关键词：电解、电化学钝化、超声频振动、微结构加工

所属期刊栏目：19

分类号：TG662

资助基金：国家自然科学基金资助项目50675192;中国博士后科学基金资助项目2003034382

在线出版日期：2008-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1786-1792