静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究

摘要：

建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式.用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析.结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性.采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换.

关键词：微型机电系统、静电硅微多折叠梁谐振器、横向振动模型、试验研究、谐振频率

所属期刊栏目：19

分类号：TP112(自动化基础理论)

资助基金：国家重点基础研究发展计划资助项目G1999033109;上海市青年科技启明星计划项目03QF14019;上海市纳米专项基金资助项目0452nm023;上海市应用材料研究与发展基金资助项目AM0420

在线出版日期：2008-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1669-1673