声表面波与声板波激发特性对比研究

摘要：

通过沉积在压电基片表面的叉指换能器可在基片上激发出声波.以部分波理论为基础,引入表面有效介电常数方法来对比研究压电基片上激发的声表面波和声板波,并通过实验证明了理论分析方法的有效性.特定切向和传播方向的压电晶体只能激发出一种声表面波模式,而其声板波则具有多种模式,且各高阶模式只有当基片厚度与声波波长之比大于某一特定值时才会出现.随着基片厚度增大,声板波各高阶模式的传播速度和机电耦合系数减小,两种低阶模式的传播速度则趋近于声表面波相应值.受基片背面的电学边界条件影响,其中一种低阶模式的机电耦合系数随着基片厚度增大而趋近于声表面波相应值,另一种低阶模式的机电耦合系数则接近于零.根据上述研究结果可以确定叉指电极激发声表面波或声板波的条件及两种声波之间的关系.

关键词：声表面波、声板波、传播速度、机电耦合系数

所属期刊栏目：19

分类号：TN65(电子元件、组件)

资助基金：浙江省自然科学基金资助项目Y105320

在线出版日期：2008-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1278-1283