微机电系统惯性电学开关的设计与制作

摘要：

基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护.使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果.

关键词：非硅表面微加工、微型惯性开关、设计与制作、微机电系统(MEMS)

所属期刊栏目：19

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA04Z308;国家重点基础研究发展计划973计划A1420060154

在线出版日期：2008-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1033-1036