一种接触式大量程表面形貌测量仪

摘要：

为了解工件加工表面的性能和监控表面形貌的形成工艺过程,需要对表面形貌进行精密的测量.用带有白光光源的Linnik干涉显微镜、一个杠杆机构、共基面x-y工作台和垂直扫描工作台共同组成一种接触式大量程表面形貌测量系统,该系统具有测量精度高、测量接触力小的特点,可对常用工件表面进行接触式大量程的测量.测量系统的垂直测量范围为5mm,分辨率小于1nm;x向和Y向的水平测量范围为±25mm,分辨率为1.25μm.

关键词：表面形貌、触针法、干涉显微镜、白光干涉技术

所属期刊栏目：19

分类号：TH741.3;TH744.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：909-913