精密双层气浮直线电机动力学响应分析

摘要：

高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑,实现亚微米级定位的高速高精运动.考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响,通过有限元的方法建立了精密双层气浮直线电机的有限元模型.在该模型的基础上,应用模态叠加法分析了该系统在各种条件下的动力学响应,得到了在X、Y、Z三个方向的加速度响应曲线;同时,借助实验模态方法,验证了该系统动态响应,从而得到了该系统的谐振频率.仿真计算结果和模态实验结果的偏差小于10%,证明了该模型是正确有效的,为下一步的动态优化和控制设计打下基础.

关键词：精密直线电机、响应分析、有限元分析、模态试验

所属期刊栏目：19

分类号：TB122(工程基础科学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716206;国家自然科学基金50605025

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：761-765