一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术

摘要：

研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种在MEMS CAD中从三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到文件的三维实体到工艺版图的转换,使用C+ +语言开发了相应的转换接口.通过典型MEMS器件--微机械加速度计和微机械陀螺的多种结构,验证了三维实体到二维版图转换的可行性与效率.结果表明,这种转换方法切实可行,且效率较高,为实现MEMS自顶向下与基于任意流程的设计方法、简化版图绘制、提高设计效率提供了一种有效的途径.

关键词：MEMS CAD、三维实体、版图、接口

所属期刊栏目：19

分类号：TH166

资助基金：国家自然科学基金50375125;国家高技术研究发展计划863计划2006AA04Z306;教育部高等学校博士学科点专项科研基金2003069903;20040699009

在线出版日期：2008-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：80-84,98