微构件力学性能测试技术进展

摘要：

阐述了微构件力学性能的研究现状与存在的力学性能参数表征问题,而后重点介绍了微构件力学性能测试中相关的驱动方式、微位移检测和微力检测技术.

关键词：微机电系统、力学性能、驱动、微位移检测、微力检测

所属期刊栏目：18

分类号：TB93(计量学)

资助基金：国家自然科学基金50535030;教育部跨世纪优秀人才培养计划NCET-04-0266

在线出版日期：2007-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2383-2387