热压法快速制作微流控芯片模具

摘要：

提出了一种微流控芯片模具的快速批量制作方法.应用光刻与湿法腐蚀技术制作玻璃母模,然后采用热压成形技术批量制作聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)阳模,再利用阳模浇模、键合批量制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片.结果表明,该法制作的PMMA模具及复制得到的PDMS芯片平整度好、一致性高,其沟道宽度和深度的相对标准偏差分别小于0.5%和1.5%.

关键词：微流控芯片、模具、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、热压法

所属期刊栏目：18

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：福建省科技厅科研项目2003H86

在线出版日期：2007-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2379-2382