基于参数化组件的电容式微机械传声器系统级建模与仿真

摘要：

基于一维集中参数模型建立了微细加工电容式传声器振膜的动力学控制方程,并确定了方程中各参数的表达式.根据控制方程,在Saber平台上采用硬件描述语言开发了参数化组件.将该组件与传声器的检测电路模型结合起来实现了传声器的系统级建模,进行了时域、频域仿真,以及不同偏置电压下的输出电容、静电拉入电压的计算.将仿真结果与文献实测数据以及有限元分析结果相比较,验证了该组件的有效性.

关键词：MEMS、电容式传声器、系统级、参数化组件

所属期刊栏目：18

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2005AA404240

在线出版日期：2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1518-1522