真空电阻焊机的研制与试验

摘要：

为了解决MEMS器件真空封装难题,设计并研制了一台将电阻焊与真空系统集成于一体的真空电阻焊机.采用波纹管和高性能密封圈来实现真空密封;采用电木板或聚四氟乙烯等真空泄漏率低的绝缘材料来实现绝缘.有限元分析表明,焊接高温并不会降低初始真空度,在电极上开小螺栓孔对焊接电流分布的影响不大.MEMS器件真空封装试验表明,该装备封装效果良好.

关键词：真空电阻焊、真空封装、MEMS、密封

所属期刊栏目：18

分类号：TG438.2(焊接、金属切割及金属粘接)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2005AA404260

在线出版日期：2007-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1265-1268