应变式全剪切三维加速度传感器的设计

摘要：

研制了一种新型应变式全剪切三维加速度传感器,其弹性元件为一双层错位孔的薄壁圆筒,三维加速度分量都利用剪切应变测量.对传感器结构模型进行了大量有限元仿真分析,给出了弹性体的应变分布,按各轴向灵敏度和固有频率等目标对传感器结构尺寸进行了优化设计.有限元分析计算和实验结果表明,所研制的传感器结构简单,具有较高的灵敏度和足够的刚度,各轴向灵敏度也比较接近,加速度分量互干扰小.

关键词：三维加速度计、有限元法、剪切应变、优化设计

所属期刊栏目：18

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

资助基金：安徽省教育厅自然科学基金2002kj270

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1157-1160