基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统

摘要：

微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要.介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光-机-电集成的MEMS测试系统.利用此测试系统时硅微谐振器支撑梁根部的单点进行了动态应力测试,测试结果与理论分析相吻合.实验表明,此测试系统具有高精度、非接触式、无损伤等特点,能很好地满足MEMS动态应力测试的需求.

关键词：动态应力、MEMS、拉曼光谱仪、高频调制、测试系统

分类号：TM93

资助基金：国家自然科学基金资助重点项目50535030;电子测试技术国家级重点实验室开放基金;微米纳米加工技术国家级重点实验室开放基金;山西省归国留学人员基金

在线出版日期：2008-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：306-309