基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究

摘要：

试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数.试验结果表明:采用优化后的UV-LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流道)轮廓清晰,表面质量好,无明显缺陷,与基底结合良好.

关键词：UV-LIGA、微结构器件、SU-8胶、光刻、微细电铸

所属期刊栏目：17

分类号：TM5(电器)

资助基金：江苏省自然科学基金BK2004214

在线出版日期：2006-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2216-2220