振动轮式微机械陀螺仪中滑膜阻尼机理的研究

摘要：

对空气阻尼进行定性和定量分析是MEMS器件设计中非常重要的一个步骤,直接影响MEMS器件的动态性能.研究了第三个区域中振动轮式微机械陀螺仪的滑膜阻尼,提出了滑膜阻尼模型,分析了滑膜阻尼的动态性能,包括速度分布、阻尼机制以及由此产生的能量损耗.根据滑膜阻尼分析结果,给出了品质因数的计算公式.试验表明,空气条件下振动轮式微机械陀螺仪品质因数的测试结果与理论值的误差约为16%.研究结果为振动轮式微机械陀螺仪结构设计中定量分析空气阻尼提供了理论依据.

关键词：微机械、振动轮、陀螺仪、滑膜阻尼、阻尼比、品质因数

所属期刊栏目：17

分类号：U666.12(船舶工程)

资助基金：江苏省自然科学基金BK2005064

在线出版日期：2006-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1679-1682