基于集总参数宏模型的微机械陀螺多域耦合分析

摘要：

对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离,在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数,建立集总参数模型.在考虑边缘效应的情况下,提取了微结构电容与位移的解析表达式;根据热-流体类似方法,提取了阻尼孔结构的阻尼系数和压膜刚度;根据结构动力学理论,由模态分析提取结构的有效刚度和有效质量.将这些物理参数综合在系统仿真器中与外围电路共同进行仿真,准确地评估不同条件下微机械陀螺的行为特性.

关键词：微机电系统、集总参数宏模型、微机械陀螺、多域耦合分析

所属期刊栏目：17

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院资助项目50375125;广东省博士启动基金2003069903,20040699009

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：401-405