一种适用于薄膜结构的静电键合方法

摘要：

针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法--局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所在位置的电场,使薄膜结构不受静电力的影响,从根本上解决了薄膜受静电吸引力而产生形变,与玻璃贴合甚至破裂的问题,大大提高了成品率.

关键词：MEMS、静电键合、敏感薄膜、局部电场屏蔽

所属期刊栏目：16

分类号：TN305.94(半导体技术)

资助基金：北京市教委共建项目KM200310005009

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：430-431