多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统

摘要：

建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成.

关键词：多晶硅、薄膜、材料参数、在线测试

所属期刊栏目：16

分类号：TP206(自动化技术及设备)

资助基金：新材料领域项目2003AA404010

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：427-429