表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试

摘要：

提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应用价值和借鉴意义.

关键词：电阻温度系数、多晶硅薄膜、表面微加工、在线测试

所属期刊栏目：16

分类号：TN403;TN37(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：401-403,406