MEMS薄膜等效应力梯度在线提取方法的研究

摘要：

提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的等效应力梯度的方法,实际模拟表明该方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中的在线测量.

关键词：悬臂梁、吸合电压、等效应力梯度、模拟

所属期刊栏目：16

分类号：TN401(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：367-369