10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.095
静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.
开发流程、静电式光开关、优化设计、MEMS
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TN402(微电子学、集成电路(IC))
国家自然科学基金2002AA422200;2002AA404030;科技部科研项目G1999033109;中国科学院资助项目60475038;60173061;高等院校骨干教师基金;Tianjin Natural Sci. Found
2005-12-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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