多级MEMS铁电制冷器有限元分析

摘要：

在试验的基础上,利用有限元方法建立数学模型,从理论上对多级MEMS铁电制冷器在不同工况下的温度场进行了研究.数值计算结果表明,所有制冷片同时工作时温降比交替工作时要大,在同工况下,层间加压有时间差有利于减弱温度波动,这对研究MEMS制冷器的结构及运行方式有重要意义.

关键词：MEMS、铁电制冷、微型制冷器、PMNT、有限元法

所属期刊栏目：16

分类号：TN384;TN40(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金2003AA404150;中国科学院引进国外杰出人才基金20011215

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：260-262