一种真空微电子加速度传感器及其信号检测电路

摘要：

结合真空微电子技术、MEMS技术和传感器技术,依据冷阴极场致发射的原理,设计了一种带过载保护功能的新型真空微电子加速度传感器.介绍了传感器的工作原理,设计了传感器的信号检测电路,并通过OrCAD软件进行了模拟.初步实验结果表明:该传感器的研制是完全可行的,而且比其他传感器具有更好的性能.

关键词：真空微电子、MEMS、场致发射、加速度传感器

所属期刊栏目：16

分类号：TH89

资助基金：国家重点实验室基金

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：205-207