超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究

摘要：

分析了微机械变形镜MEMS驱动器的种类及其特点,并在磁致伸缩薄膜具有低磁场下的大形变、低功耗、高响应速度等特性基础上,提出了超磁致伸缩薄膜MEMS驱动器的原理.由于TbFe磁致伸缩薄膜在外加磁场作用下,微桥将在水平方向上产生伸长变形,从而引起微桥在垂直方向上发生位移.根据这一原理,设计了一种用于微机械变形镜MEMS驱动器的超磁致伸缩薄膜驱动结构,同时提出制作磁致伸缩薄膜连续式微机械变形镜的工艺流程.

关键词：超磁致伸缩薄膜、微机电系统、微机械变形镜、驱动器、微桥

所属期刊栏目：16

分类号：TN712.2(基本电子电路)

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：151-155