推挽式线性驱动隧穿加速度计研究

摘要：

介绍了隧穿加速度计的工作原理,设计了一种利用线性梳齿驱动、推挽式力平衡闭环控制的MEMS隧穿加速度计,采用体硅溶片工艺研制出了原理样机,由于结构和工艺简单,获得了较高的成品率,此技术还应用于隧穿陀螺仪和隧穿磁强计的研制.

关键词：MEMS、隧穿效应、加速度计、推挽式

所属期刊栏目：16

分类号：TN304.2;TH824.4(半导体技术)

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：137-139