集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究

摘要：

研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.

关键词：电化学、微流控芯片、剥离工艺

所属期刊栏目：16

分类号：O657.8(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金2004AA404260;辽宁省博士科研项目20041073

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：94-95