一种新型微致动元件的制作及特性研究

摘要：

介绍了一种用于计算机磁头精确定位的新型压电元件.该元件采用高速流延工艺制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr0.52Ti0.48)O3多层膜,由丝网印刷工艺制作Ag/Pd内电极.为优化元件的制作工艺,对流延过程作了DTA/TGA分析.结果显示,采用110℃、350℃和1090℃的三步烧结工艺可显著提高元件的钙钛化程度,从而提高其压电性能,减少内部缺陷.对元件的XRD分析显示,110℃和350℃时压电薄膜中以钙钛矿相为主,且存在大量的焦绿石相,当烧结温度达到1090℃时,焦绿石相的含量已经很少.SEM分析表明,与最终烧结温度1070℃相比,当烧结温度达到1090℃时元件的显微结构更为致密,内部缺陷更少.封装测试在多普勒干涉仪上进行,结果表明,该致动器具有优异的位移/电压灵敏度、谐振频率等特点.

关键词：PMN-PZT、压电多层膜、U形微致动器、DTA-TGA

所属期刊栏目：16

分类号：TH7;TN4(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院资助项目90206022

在线出版日期：2006-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2222-2226